設備故障是指設備失去或降低其規定功能的事件或現象。表現為設備的某些零件失去原有的精度或性能，使設備不能正常運行、技術性能降低，致使設備中斷生產或效率降低而影響生產。真空等離子清洗機的故障可以分為：等離子體相關故障、RF射頻故障、真空問題等故障。
等離子體相關故障
等離子體相關的故障可以分為不產生等離子體和等離子體密度低。
1.不產生等離子體
不產生等離子體的主要問題有以下幾種情況:
(1)射頻電源損壞
措施：檢查射頻源輸出信號、射頻電纜、匹配網絡，對故障點進行維修。
(2)真空問題
措施：檢查各連接處的漏率，對漏率比較大的密封圈進行更換；檢查真空泵組。
(3)壓力過大或過低
措施：檢查氣源壓力；檢查壓力閥；檢查真空閥。
2.等離子體密度低
等離子體密度低可從射頻功率源、氣源充足性、質量流量控制器、腔壁是否污染等方面檢查。
RF射頻故障
RE射頻故障是真空等離子清洗機最常見的故障之一。其表現現象一般分為：反射功率大，無輸出功率。
1.反射功率大
反射功率大一般屬于匹配問題，一般情況下，若飄移不大，可通過設備的調節開關調整到允許范圍內。但下列現象沒有辦法通過調節開關調到允許范圍之內：匹配命令發出之后調整電機不轉、電容葉片變形卡住、位置電位器壞，位害電位器軸回緊質螺釘松動，齒輪禁揾等情況只能打開匹西箱進行相應位害的調整及維修。
