沛沅等離子清洗機不能產生輝光可能是由于以下原因：
1）實驗室電壓不穩，設備保險絲熔斷；
2）等離子主機射頻燈故障，無法提供產生輝光所需的射頻光源；
3）真空密封性可能存在漏氣問題，無法達到產生輝光所需的真空負壓環境；
等離子清洗機不能產生輝光如何解決：
1、燈管測試法：
原理：燈管測試由高頻發生器、耦合器和燈泡三部分組成。它是通過高頻發生器的電磁場以感應的方式耦合到燈內，使燈泡內的氣體雪崩電離，形成等離子體，等離子受激原子返回基態時輻射出紫外線，燈泡內壁的熒光粉受到紫外線激發產生可見光。
操作方法：真空泵不用抽真空，將石英片托從等離子主機真空腔室內取出，將測試燈管放入等離子主機真空腔內壁，將 RF 射頻開關打到“HI”檔，觀察測試燈管是否能亮；
? 若測試燈管無法點亮且保險絲沒有熔斷，請聯系我司售后工程師接洽處理；
? 若測試燈管能夠點亮，請檢查設備真空是否存在問題；
2、設備真空問題如何排查？
【1】如果未選用廠家推薦配備的真空泵浦系統可聯系廠家售后了解具體相關抽速和真空泵要求；若無法滿足要求，不能產生輝光的真空問題可能和選用的真空泵浦系統有關；
【2】如果使用的是廠家推薦配備的真空泵浦系統，并且選配了等離子配套的真空監視單元或者氣體流量控制混合儀，通過真空監視單元或者氣體流量控制混合儀可以科學地獲取實驗所需的真空負壓參數。
請在真空泵開啟抽真空 3 分鐘左右后，觀察顯示屏上所監測到真空腔體內的真空負壓值是多少，是否能達到 500-800mTorr 之間？
? 若真空負壓值能達到 500-800mTorr 之間，設備正常操作仍無法產生輝光請聯系廠家售后接洽處理。
? 若真空負壓值不能達到 500-800mTorr 之間，甚至 1200mTorr 也 無法達到，請檢查: ①真空泵與真空軟管連接處；②真空軟管與真空腔體連接處；③三通閥與艙門前蓋連接處；連接是否正確并擰緊，等離子清洗艙門前蓋是否正確關閉，艙門前蓋密封圈的地方是否清潔無缺陷。
