PDMS的表面改性方法眾多，包括有表面活性劑改性、紫外照射改性、等離子體改性、 硅烷化、層層自組裝、接枝共聚改性等。硅烷化、接枝共聚改性可使PDMS疏水性恢復較 慢，改性效果非常好但工藝復雜。紫外照射改性、等離子體改性效果好，相對而言工藝簡單，是常見的PDMS的表面改性方法。紫外照射改性、等離子體改性法都屬于高能量場處理
表面處理過程中，若流入電場內的氣體以和被清洗物表面發生化學反應為主則被稱為化學作 用，若流入電場內的氣體主要起到對被清洗物物理轟擊的作用則稱物理作用，經活性等離子作用后物體表面污染物會變成粒子和氣態物質，接著通過抽真空將其排出，清洗目的達 成。等離子清洗具有安全，經濟，環保，效率高的特點。在對聚合物進行等離子清洗時。2、 H2、N2、CF4、通常會與聚合物發生化學反應。
化學反應會改變聚合物表面結構，材料表面化學組分發生改變，產生其它化學官能團 例如狡基、氨基、羥基等，化學反應后物體表面粘接能力會顯著增強。
化學反應效率和壓力有關，壓力高時氣體經電離后產生的自由基數量多，所以反應速 度就快，在使用等離子處理時若要以化學作用為主通常將適當加大氣體流入量。
He、Ar通常被用來當作物理轟擊的氣體，這類氣體不能與聚合物表面直接反應，不能 直接進入材料表面的分子鏈中，它們依靠高能量的離子對物體表面撞擊，傳遞動能，清洗 污染物原子。這里的物理作用又稱濺射腐蝕，可使聚合物表面產生蝕刻，去除表面弱界面 層顯著加強表層。物理作用主要用于去除有機污染物、微顆粒污染物、表面能活化等
給出一點建議
1.提高空氣流量、表面清潔光滑有利于PDMS粘接，功率并不是越大越好，處理時間 也不是越長越好，小功率的情況下處理時間應設置較長，大功率情況下處理時間應設置較 短。
2.給出了一個低成本快速鍵合PDMS的工藝方案，使PDMS經空氣等離子處理1分鐘 后再按壓5-10分鐘即可使整個接觸面鍵合并使鍵合后的PDMS擁有足夠的強度。
