射頻等離子體清洗機核心部件就是射頻電源和匹配器，可能會遇到電源啟動正常而腔體不放電的情況，多半是因為匹配器工作不正常，今天沛沅小編給大家分享一下遇到這個問題的解決辦法：
一、匹配器故障說明
1.空氣電容損壞
故障原因：空氣電容在運行過程中摩擦產生導電雜質，造成局部短路；摩擦導致動片軸損壞，無法正常調節。
2.進口晶體管故障
故障原因：與空氣電容動片軸損壞有關，空氣電容無法正常工作，射頻輸出阻抗無法調節，導致晶體管擊穿；在使用過程中，匹配器初始值調節不當，匹配時間過長或真空腔體內輝光放電不穩定也會造成晶體管損壞。
二、等離子體清洗機匹配器日常使用注意事項
1.定期對真空腔體內的插針公母頭進行檢查，防止有嚴重氧化及斷裂現象。
2.確認電極板擺放正確，無順序錯誤；在使用過程中如需調節極板數量及間距，必須確認匹配器自動匹配狀態，如匹配時間較長，則需調節初始值。
3.定期確認匹配器的初始值，長時間使用可能會出現初始值偏移的狀況，需要定期確認并根據實際情況調整。
4.如出現初始值嚴重偏移，則需確認匹配器內部和空氣電容葉片是否錯位及是否有打火現象，如出現此類情況，需及時處理?？諝怆娙莸墓潭ㄈ~片及動片在調到最大時是基本重合的；如出現打火現象，確認葉片有無燒壞，如燒壞可將燒壞位置打磨后再使用，葉片之間的距離太近也會出現打火現象。
5.如等離子體清洗機出現電容無法調節的情況，可打開匹配器，手動控制調節電容，確認葉片電容能否正常旋轉。需留意電機與空氣電容的傳動部分是否有無法轉動的情況，出現卡死需及時報修，如出現齒輪與軸之間打滑，可先自行處理。
